真空繼電器是最常見的一種高壓繼電器，特點是將繼電器的觸點部分密封在真空中，使繼電器能夠在極小的體積下獲得高的介質耐壓，由於真空中的氣體分子非常少，所以真空繼電器還具有接觸電阻小的優點，特別適合用於要求通過大電流的多路切換係統中，典型的應用是射頻通信領域中的調頻係統、半導體設備匹配箱電源；也適合用於高壓隔離，高壓檢測儀器等要求小型化的高壓係統中。